Главное меню
  • Russian (CIS)
  • English (United Kingdom)

 

 

 


 


Оглавление
Бизнес-направление "Нано- и микросистемная техника"
Описание
Все страницы

Одним из наиболее динамично развивающихся направлений высоких технологий XXI века является нано- и микросистемная техника.

Текущий уровень развития микроэлектроники и нанотехнологий свидетельствует об их способности оказывать ключевое влияние на все сферы жизнедеятельности человека и играть важную роль в научно-техническом развитии и укреплении обороноспособности многих стран.

Важность развития этих направлений для формирования научно-технологического и производственного потенциала страны отмечена в Федеральной целевой программе (ФЦП) «Национальная технологическая база» на 2007-2011 годы и ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 – 2010 годы».

ОАО «ЗИТЦ» является одним из лидирующих центров по созданию элементов и приборов в области нано- и микросистемной техники. Для реализации перспективных комплексных проектов в данной области в 2008 году в рамках выполнения ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 – 2010 годы» Зеленоградским инновационно-технологический центром совместно с МИЭТ был создан Научно-технологический центр «Нано- и микросистемной техники».

Целью создания центра явилось формирование долгосрочного устойчивого узла национальной нанотехнологической сети в области нано- и микросистемной техники.

В процессе функционирования центр «Нано- и микросистемной техники» решает следующие задачи:
- Реализация возможности выполнения высокотехнологичных исследований и разработок в режиме центра коллективного пользования
- Обеспечение замкнутого цикла создания изделий нано- и микросистемной техники.
- Освоение серийного производства конкурентоспособной продукции.

Основными направлениями деятельности Центра являются:
- Интеграция технологий наноразмерных чувствительных элементов со схемами обработки и передачи информации.
- Нанотехнологии объемной и поверхностной обработки кремния.

В состав Центра входят следующие участки:
- Изготовления наноструктур.
- Технологический комплекс высокоточной сборки микро- и наносистем.
 
На базе центра «Нано- и микросистемной техники» ОАО «ЗИТЦ» совместно с МИЭТ и ОАО «Научно-производственное объединение Геофизика-НВ» реализует комплексный научно-технический проект «Разработка инерциальных микромеханических датчиков (микроакселерометров и микрогироскопов) для микроминиатюрных систем позиционирования робототехнических и медицинских диагностических комплексов и специальных систем».
 

Разрабатываемые в рамках проекта микроакселерометры и микрогироскопы могут быть использованы в качестве трех видов датчиков: ускорения, скорости и перемещения в следующих областях: в автомобильной технике, в робототехнических и медицинских диагностических комплексах и специальных системах, в системах управления буровыми установками нефтяной и газовой промышленности, в строительной индустрии и ряде других отраслей машиностроения. В рамках проекта предполагается развитие опытно-экспериментальной инфраструктуры МИЭТ в области создания изделий микросистемной техники и микроэлектромеханических систем.

   Номенклатура выпускаемых приборов                       
  •    Микромеханический акселерометр.
  •    Микромеханические гироскопы.
  •    Микроприводы.
  •    Микрозеркало.
  •    Системы на основе 3-х микроакселерометров и
  •    микрогироскопов.
   Характеристики микроакселерометра
  •    Диапазон измеряемых ускорений 1.2÷10 g;
  •    Постоянное ускорение до 600 g;
  •    Удар (длительность 0,5 мсек) до 600 g;
  •    Температурный диапазон – 45 ÷ + 80 оС;
  •    Габариты 45x31x20 мм;
  •    Масса, не более 30 г.

 

 


 Микрозеркало

 

Микрозеркало изготовлено по микроэлектронной технологии и включает:

  1. чувствительный элемент с емкостным преобразователем;
  2. электронику для формирования, нормирования и усиления выходного сигнала;
  3. электростатический датчик момента.   
Назначение:
  •  Сканирование
  •  Позиционирование
  •  Стабилизация оптической линии визирования
  •  Управление оптическими ключами
  •  Портативные дисплеи
  •  Формирование изображений высокой четкости

 

Технические характеристики
Номинальный угол поворота
0.5; 1 градус
Полоса пропускания
0-50; 0-70 Гц
Температурный диапазон
-40 ÷ +60°С
Удар (длительность 0.5мсек)
до 1500g
Масса чувствительных элементов, не более
1,5 г
Количество циклов, не менее
200 000 000
Габариты отражающей поверхности
1,5x1,5 мм
Напряжение питания
120; 220
Отражающая способность, не хуже
90%

 

Микромеханический акселерометр

 

                                                                                  Технические характеристики
   Диапазон измеряемых ускорений
1.2; 2; 5; 10; 40; 50 g
Спектральная плотность шума(1 ÷ 4)·10-5 g/Гц1/2
Полоса пропускания
0-100; 0-130; 0-170; 0-300 Гц
Дрейф нулевого сигнала, не более
(1 ÷ 9)-10 -4 g/ч
Температурный диапазон
-45 ÷ +80 °С
Вибрация (до 2000 Гц)
до 20g
Масса, не более
30 г
Ресурс, не менее
20000 час
Напряжение питания

Энергопотребление
< 10 мВт

 

Микромеханические гироскопы

 

Технические характеристики

Диапазон измеряемых угловых скоростей
 ±(75; 150; 300) °/с
Угловая скорость случайного дрейфа гироскопа
 0.001-0.01 °/с
Полоса пропускания
 0-50. 0-100 Гц
Перегрузка
 0-1000 g
Энергопотребление
 0.05 Вт
Габариты чувствительного элемента
 13x14,5x2,6 мм
Ресурс, не менее
 20000 час

 

 

 


телефон +7 499 720 6955
факс +7 499 720 6955