Зеленоградский инновационно-технологический центр

Проектирование и изготовление фотошаблонов

Изготовление фотошаблонов осуществляется для производства интегральных схем с проектными нормами до 180 нм на базе специального технологического оборудования, обеспечивающего генерацию изображения топологического рисунка интегральной микросхемы на фотошаблонах по заданной управляющей информации, аттестацию фотошаблонов на соответствие проектным данным и техническим требованиям заказчика.

На сегодняшний день АО «ЗИТЦ» обладает производственной, технологической и научной инфраструктурой, которая позволяет обеспечивать замкнутый цикл производства фотошаблонов для любых дизайн-центров, научных и производственных предприятий.

Проектирование фотошаблонов
Проектирование дизайна фотошаблона включает в себя преобразование и компоновку исходных данных Заказчика в соответствии с техническими требованиями, а также добавление служебных, тестовых и других специальных элементов. В процессе проектирования дизайна фотошаблонов проводится проверка исходной инф...
Изготовление бинарных фотошаблонов
Изготовление стандартных бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм осуществляется по замкнутому технологическому циклу методами: Контактной фотолитографии, масштаб изображения 1:1; Проекционной фотолитографии, масштаб изображения 10:1, 5:1, 4:1. Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щел...
Дополнительные услуги
В процессе эксплуатации на фотошаблонах могут образоваться привнесенные дефекты, например: повреждение маскирующего покрытия, нарушение целостности пленки пелликла, загрязнения и т.п., что делает фотошаблон непригодным для использования. В этом случае мы предлагаем ряд дополнительных услуг на фотош...