Зеленоградский инновационно-технологический центр
Изготовление бинарных фотошаблонов

Изготовление бинарных фотошаблонов

Изготовление стандартных бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм осуществляется по замкнутому технологическому циклу методами:

  • Контактной фотолитографии, масштаб изображения 1:1;
  • Проекционной фотолитографии, масштаб изображения 10:1, 5:1, 4:1.

Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стекла или синтетического кварца с хромовым маскирующим покрытием.

Типоразмеры изготавливаемых фотошаблонов:

  • 127x127x2,24 мм (5009),
  • 152х152х6,35 мм (6025),
  • 177,4х177,4х3,1 мм (7012).

На кварцевые фотошаблоны 152х152х6,35 мм возможна установка пелликлов.

Учитывая индивидуальные требования и пожелания Заказчика, мы предлагаем нестандартные решения для получения наилучшего результата в кратчайшие сроки.

Минимальный размер на фотошаблоне (мкм)Спецификация
Допуск на размер(±мкм)Совмещение(мкм) Дефекты(мкм)
0,6-0,9 ≥0,08≥0,15≥0,25
1-2≥0,1≥0,15≥0,25
2,5-5≥0,1≥0,15≥0,5
>5≥0,1≥0,15≥0,5