Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Выставка ChipEXPO - 2018 пройдет с 17 по 19 октября в Ц...
25.09.2018
Выставка пройдет при поддержке Департамента радиоэлектронной промышленности Минпромторга России, Государственной Думе РФ, Министерства обороны РФ. Основными тематиками в 2018 году станут: микроэлектроника, телекоммуникации, IT- технологии, СВЧ-техника, технологическое оборудование, медицинская элек...
Всероссийский инженерный конкурс для студентов и аспира...
01.08.2017
ВИК.Нано — это первый в России инженерный конкурс в области нанотехнологий для студентов и аспирантов, который проводится в рамках Всероссийского инженерного конкурса (ВИК) при поддержке сети наноцентров и технологических компаний-партнеров.
В России вводится обязательная регистрация беспилотнико...
19.06.2019
25 мая 2019 г. премьер-министром Дмитрием Медведевым подписано Постановление Российской Федерации № 658 об обязательной регистрации беспилотных летательных аппаратов весом от 250 г до 30 кг, ввезенных или произведенных в РФ. Владельцев обяжут предоставлять информацию в Росавиацию в течение десяти д...
Важная новость
15.07.2017
Главная цель проведения МАКС - демонстрация российских высоких технологий и открытости внутреннего рынка России для совместных проектов с зарубежными партнерами.