Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
6 ноября 2019 г. руководство АО «ЗИТЦ» приняло участие ...
11.11.2019
В состав Совета входят более 40 руководителей ведущих организаций, главы управ районов округа, руководители окружных структур.
Состоялась рабочая поездка руководства АО «ЗИТЦ» в АО  ...
10.12.2019
Холдинг «Планар» – это единый научно-технический комплекс предприятий.
АО «ЗИТЦ» в составе авторского коллектива получил дипло...
05.11.2019
В 2017 году на конкурс было подано 102 работы от 68 организаций.