Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Представители АО «ЗИТЦ» приняли участие в «круглом стол...
11.06.2018
30 мая 2018 года на территории филиала ПАО «Газпром» в парке-отеле «Морозовка» состоялся «круглый стол», в работе которого приняли участие руководители промышленных предприятий, руководители малых инновационных предприятий, представители общественных объединений, представители госструктур и муницип...
С 25 апреля по 1 мая при поддержке АО "ЗИТЦ" ...
24.04.2019
Центр современной драматургии (ЦСД) – яркий, молодой театр Екатеринбурга, где никогда не бывает скучной классики. Это театр, определяющее слово которого – «современность». ЦСД – группа молодых единомышленников, которые делают яркий, интересный и современный театр. В столицу приедет не только театр,...
Разработаны проекты профессиональных квалификаций рабоч...
18.05.2023
На очередном заседании СПК в сфере нанотехнологий и микроэлектроники одобрены профессиональные квалификации операторов производства изделий микроэлектроники....