Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
29-30 июня семинар: Новые возможности научно-технологич...
20.06.2017
29-30 июня 2017 года в Москве в стенах Торгово-промышленной палаты РФ состоится международный бизнес-семинар на тему: «НОВЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ НАУЧНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО СОТРУДНИЧЕСТВА РОССИИ, ИНДИИ И ВЕДУЩИХ СТРАН ЮГО-ВОСТОЧНОЙ АЗИИ. ИННОВАЦИОННЫЕ КАНАЛЫ УСКОРЕННОГО ВЫХОДА НА МЕЖДУНАРОДНЫЕ РЫНКИ». На по...
12 июля - Открытие научно-практической конференции «Рын...
14.07.2017
Участники конференции обсудили рыночные тенденции мировой науки и экономики, технологические вызовы и важнейшие приоритеты государственной политики России, возможности создания Цифровой экономики, ориентированной не только на внутренний, но и на внешний рынок.
Новости ЗИТЦ
28 апреля состоялась выставка «Экспоэлектроника-2017»
29.04.2017
В выставочном центре «Крокус Экспо» с 25 по 27 апреля 2017 года прошли 20-ая Международная выставка электронных компонентов, модулей и комплектующих «Expo Electronica» и 15-ая Международная выставка технологий, оборудования и материалов для производства изделий электронной и электротехнической промы...
Важная новость
15.07.2017
Главная цель проведения МАКС - демонстрация российских высоких технологий и открытости внутреннего рынка России для совместных проектов с зарубежными партнерами.