Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
16 августа 2018 года в рамках пресс-тура в ОЭЗ «Технопо...
20.08.2018
Для журналистов в Зеленоградском инновационно-технологическом центре была организована пресс-конференция, посвященная разработке и созданию медицинской продукции на территории ОЭЗ «Технополис «Москва». На базе ЗИТЦ создан носимый аппарат вспомогательного кровообращения «АВК-Н Спутник», предназначе...
В России к 2024 г. появится более 120 индустриальных па...
11.03.2019
На реализацию проекта выделят 30 млрд рублей из федерального бюджета.
С 25 апреля по 1 мая при поддержке АО "ЗИТЦ" ...
24.04.2019
Центр современной драматургии (ЦСД) – яркий, молодой театр Екатеринбурга, где никогда не бывает скучной классики. Это театр, определяющее слово которого – «современность». ЦСД – группа молодых единомышленников, которые делают яркий, интересный и современный театр. В столицу приедет не только театр,...
Важная новость
15.07.2017
Главная цель проведения МАКС - демонстрация российских высоких технологий и открытости внутреннего рынка России для совместных проектов с зарубежными партнерами.