Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Приглашаем посетить стенд АО «ЗИТЦ» на выставке ExpoEle...
27.02.2020
АО «ЗИТЦ» приглашает вас посетить наш стенд № А1024 в павильоне 3, зал 14, на международной выставке электронных компонентов, модулей и комплектующих ExpoElectronica 2020.
Выставка состоится 14-16 апреля 2020 г. в Москве, МВЦ «Крокус Экспо».
С 27 по 31 мая 2019 г. в Экспоцентре пройдет выставка «...
24.05.2019
20-я Международная специализированная выставка оборудования, приборов и инструментов для металлообрабатывающей промышленности – «Металлообработка-2019» будет работать в Центральном выставочном комплексе «Экспоцентр» с 27 по 31 мая. 1200 компаний из 30 стран мира представят новые решения, оборудован...
29-30 мая 2018 года в ЭКСПОЦЕНТРе пройдет выставка SEMI...
17.05.2018
Выставка SEMIEXPO Russia представляет полную картину цепочки поставок: от материалов и оборудования до технологий производства, услуг, компонентов и приложений. Руководители высшего звена из сферы промышленности, науки, регионального правительства и глобальной индустрии представят свой взгляд на ук...
Важная новость
15.07.2017
Главная цель проведения МАКС - демонстрация российских высоких технологий и открытости внутреннего рынка России для совместных проектов с зарубежными партнерами.