Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Руководство АО «ЗИТЦ» приняло участие в ежегодных встре...
07.12.2018
4 декабря в конгресс-холле на площадке в Алабушево г. Зеленограда состоялась ежегодная бизнес-сессия для резидентов. Представители управляющей компании, руководители наукоемких компаний, члены Правительства Москвы подвели итоги работы за год и обсудили текущие проекты по развитию бизнеса.
В «АО ЗИТЦ» состоялся визит сотрудников аппарата Совета...
18.03.2019
15 марта АО «ЗИТЦ» с рабочей поездкой посетили Абрамов Иван Николаевич - член Совета Федерации Федерального Собрания РФ и Никоноров Константин Вячеславович - заместитель генерального директора ОЭЗ "Технополис Москва", руководитель проектного офиса «ОЭЗ Зеленоград». С целью знакомства...
Cеминар «Функциональное моделирование, верификация, тес...
20.10.2017
Уважаемые коллеги! С целью координации и формирования портфеля заказов предлагается организовать на базе Зеленоградского инновационно-технологического центра постоянно действующий семинар «Функциональное моделирование, верификация, тестирование и 2,5-3D сборка на кремниевом интерпозере, многослой...
Важная новость
15.07.2017
Главная цель проведения МАКС - демонстрация российских высоких технологий и открытости внутреннего рынка России для совместных проектов с зарубежными партнерами.