Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Правительство РФ утвердило правила выделения субсидий н...
08.05.2019
Правительство РФ утвердило правила предоставления субсидий из федерального бюджета на поддержку внедрения "сквозных" цифровых технологий преобразования приоритетных отраслей экономики и социальной сферы. Соответствующее постановление кабмина опубликовано на официальном интернет-портале правовой инфо...
Правительство Москвы разрабатывает меры по стимулирован...
25.02.2019
По словам вице-премьера Юрий Борисова, в рамках подготовки дорожной карты рассматриваются ряд мер стимулирования микроэлектроники.
Руководство АО «ЗИТЦ» приняло участие во встрече с пред...
23.09.2019
Представители ОЭЗ «Технополис «Москва» и сотрудники компаний-резидентов обсудили возможности и преференции, предоставляемые ОЭЗ, доступные сервисы и налоговые льготы, экспортный потенциал производимой продукции и перспективы сотрудничества с компанией Schneider Group.
Важная новость
15.07.2017
Главная цель проведения МАКС - демонстрация российских высоких технологий и открытости внутреннего рынка России для совместных проектов с зарубежными партнерами.