Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
АО «ЗИТЦ» принял участие в заседания Экспертного совета...
28.02.2023
Основным вопросами повестки дня были аспекты развития кадрового потенциала в области микроэлектроники
Поздравляем с Новым 2019 годом и Рождеством Христовым!...
27.12.2018
Новогодние праздники - особенное время. Они проникнуты атмосферой доброты, душевного тепла, домашнего уюта, и, конечно, верой в то, что самые заветные желания непременно сбудутся. Уходящий год был насыщенным и плодотворным. Он наполнил нас жизненной мудростью и силой. Пусть наступающий Новый год ...
Медицинские разработки АО «ЗИТЦ» на международной выста...
23.01.2019
Выставка «Здравоохранение-2018» представила вниманию профессиональной аудитории новейшие достижения отечественного и мирового здравоохранения.
Важная новость
15.07.2017
Главная цель проведения МАКС - демонстрация российских высоких технологий и открытости внутреннего рынка России для совместных проектов с зарубежными партнерами.