Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Правительство Москвы разрабатывает меры по стимулирован...
25.02.2019
По словам вице-премьера Юрий Борисова, в рамках подготовки дорожной карты рассматриваются ряд мер стимулирования микроэлектроники.
АО «ЗИТЦ» в репортаже телеканала «Россия 1».
20.03.2018
Президент Российской Федерации В.В. Путин 20 марта провел совещание, посвященное развитию отечественной микроэлектроники. По его мнению, в этой отрасли сложно обеспечить стабильную работу предприятий без поддержки государства, без заказов госкомпаний. Поэтому важно активно развивать механизмы, котор...
14 сентября состоялся визит делегации из г. Циндао (КНР...
14.09.2017
14 сентября состоялся визит представителей региональной администрации и государственных органов г. Циндао, КНР в АО «ЗИТЦ» и другие ключевые объекты инновационно территориального кластера «Зеленоград». Принимающая сторона в составе генерального директора Союза ИТЦ России - Горчаковой Евгении Алек...