Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
14 сентября состоялся визит делегации из г. Циндао (КНР...
14.09.2017
14 сентября состоялся визит представителей региональной администрации и государственных органов г. Циндао, КНР в АО «ЗИТЦ» и другие ключевые объекты инновационно территориального кластера «Зеленоград». Принимающая сторона в составе генерального директора Союза ИТЦ России - Горчаковой Евгении Алек...
1 ноября 2017 г. состоялось заседание Совета Директоров...
06.11.2017
Заседание этого Совета, общественного совещательного органа под председательством префекта округа Анатолия Смирнова, проводится с целью содействия развитию научно-производственного комплекса округа и расширения участия научно-производственных структур Зеленограда в решении городских социально-эконом...
Срок существования ОЭЗ в России увеличен до 49 лет
03.07.2018
Президент России Владимир Путин подписал закон, регламентирующий порядок продления срока действия особой экономической зоны (ОЭЗ) с 20 до 49 лет. Документ, принятый Госдумой 21 июня и утвержденный Советом Федерации 27 июня, опубликован на едином портале правовой информации. В первоначальной верси...