Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Частно-государственное партнёрство в рамках "Аэрон...
13.02.2017
Представительство Европейской сети поддержки предпринимательства – Polish Agency for Enterprise Development  Polish Agency for Enterprise Development (Польское агентство развития предпринимателсьва) 30 сентября в городе Познани,
Руководство АО «ЗИТЦ» приняло участие в торжественном в...
03.03.2018
В 2018 году Зеленограду исполняется 60 лет. Основанный в 1958 году как спутник столицы, город за эти годы стал уникальным, одним из самых зеленых, комфортных и уютных округов Москвы, который развивается как крупный научно-промышленный центр. Торжественный вечер прошел 2 марта в преддверии юбилея в ...
16-18 октября 2018 г. в Сколково пройдет Форум "От...
08.08.2018
Ежегодный форум «Открытые инновации» проводится в Москве с 2012 года под эгидой Правительства Российской Федерации и среди участников формирования инновационной экосистемы по праву считается уникальной дискуссионной площадкой. Основная цель Форума — развитие и коммерциализация новейших технологий, ...
Важная новость
15.07.2017
Главная цель проведения МАКС - демонстрация российских высоких технологий и открытости внутреннего рынка России для совместных проектов с зарубежными партнерами.