Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Частно-государственное партнёрство в рамках "Аэрон...
13.02.2017
Представительство Европейской сети поддержки предпринимательства – Polish Agency for Enterprise Development  Polish Agency for Enterprise Development (Польское агентство развития предпринимателсьва) 30 сентября в городе Познани,
С 26 по 28 января 2018 г. при поддержке АО "ЗИТЦ&q...
26.01.2018
Гастроли пройдут на сцене театрального лофта «Компас-Центр». Адрес: г. Москва, Колокольников пер. 24 стр. 3, вход со двора. (метро Сретенский бульвар). За три насыщенных дня самый яркий молодой театр Екатеринбурга покажет свои лучшие спектакли и самые свежие премьеры. ЦСД растопит московский снег и...
15-17 апреля пройдет Международная выставка электронных...
08.04.2019
Международная выставка «ЭкспоЭлектроника» — крупнейшая в России и Восточной Европе выставка электронных компонентов и технологического оборудования, проходящая в Москве с 1998 года и ежегодно демонстрирующая новинки отрасли. «ЭкспоЭлектроника» — единственная выставка, которая не только активно пр...