Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Новости ЗИТЦ
Минифаб с IMEC в Зеленограде
28.12.2016
В конце декабря 2016 года в Бельгии (г. Лёвен) прошли переговоры представителей НИУ МИЭТ, АО «Зеленоградский нанотехнологический центр», АО «НИИМЭ», «Корпорации развития Зеленограда» с крупнейшим европейским научным центром прикладных разработок в области микро- и наноэлектроники – IMEC. Цель встре...
Новости ЗИТЦ
 14-17 ноября - международная выставка SEMICON Europe
21.08.2017
Выставка SEMICON Europe 2017 проводится c 14 по 17 ноября в городе Мюнхен, Германия.
АО «ЗИТЦ» принял участие в праздновании Дня Города.
11.09.2018
8 сентября Москва отмечала свой 871-й день рождения, а ее город-спутник Зеленоград праздновал свой 60-летний юбилей. В торжественном шествии трудовых коллективов по Центральному проспекту приняло участие более 3,5 тысяч человек: представители городской администрации во главе с префектом, учре...