Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Медицинские разработки АО «ЗИТЦ» на международной выста...
23.01.2019
Выставка «Здравоохранение-2018» представила вниманию профессиональной аудитории новейшие достижения отечественного и мирового здравоохранения.
16-18 октября 2018 г. в Сколково пройдет Форум "От...
08.08.2018
Ежегодный форум «Открытые инновации» проводится в Москве с 2012 года под эгидой Правительства Российской Федерации и среди участников формирования инновационной экосистемы по праву считается уникальной дискуссионной площадкой. Основная цель Форума — развитие и коммерциализация новейших технологий, ...
29 января 2018 года состоялся праздничный вечер, посвящ...
05.02.2018
На праздничном вечере присутствовало более сотни человек: руководство и сотрудники компании, представители ключевых организаций, с которыми ЗИТЦ ведет тесное сотрудничество, малые инновационные компании Зеленограда. Мероприятие проходило в Доме мотокультуры «Изба»: выбор данного места имел символи...
Важная новость
15.07.2017
Главная цель проведения МАКС - демонстрация российских высоких технологий и открытости внутреннего рынка России для совместных проектов с зарубежными партнерами.