Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Суханов Никита,  инженер-эколог АО «ЗИТЦ», стал призеро...
15.10.2019
Турнир по бразильскому джиу-джитсу Russian National Pro состоялся 12 октября в спортивном центре «Новая Лига» (Москва).
С 12 по 14 февраля 2020 г. в г. Сочи состоится Российск...
29.01.2020
Российский инвестиционный форум – это традиционная площадка для презентации инвестиционного и экономического потенциала России.
29-30 июня семинар: Новые возможности научно-технологич...
20.06.2017
29-30 июня 2017 года в Москве в стенах Торгово-промышленной палаты РФ состоится международный бизнес-семинар на тему: «НОВЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ НАУЧНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО СОТРУДНИЧЕСТВА РОССИИ, ИНДИИ И ВЕДУЩИХ СТРАН ЮГО-ВОСТОЧНОЙ АЗИИ. ИННОВАЦИОННЫЕ КАНАЛЫ УСКОРЕННОГО ВЫХОДА НА МЕЖДУНАРОДНЫЕ РЫНКИ». На по...