Зеленоградский инновационно-технологический центр

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

Научно-технический семинар с Fraunhofer ENAS

24-25 ноября 2016 г. состоялся научно-технический семинар «Прикладные подходы к созданию технологии производства инерционных МЭМС-компонентов в условиях существующей производственной инфраструктуры», организованный совместно Корпорацией развития Зеленограда и Fraunhofer ENAS (Германия).

В научных докладах семинара были затронуты вопросы создания высокоточных инерциальных сенсоров на основе BDRIE-технологии (сварки и глубокого реактивного ионного травления). Особое внимание было уделено ключевым технологическим моментам литографии и травления, бондинга, корпусирования и сборки. Кроме того, дополнительно обсуждались дизайн МЭМС-компонентов, тестирование на уровне пластин, целевые параметры гироскопов, акселерометров и других конечных продуктов.

В практической части семинара командой Fraunhofer ENAS были представлены два основных технологических процесса (кремний/кремний и кремний/стекло), а также были продемонстрированы разработанные институтом акселерометры и гироскопы.

При подведении итогов семинара участники обсудили как общую совместную работу в ближайшем будущем, так и планирование последующего развития. Подобный семинар представляет большую ценность для ряда зеленоградских предприятий, которые получили актуальную информацию о современных процессах создания высокоточных инерциальных сенсоров, о мировых разработках дизайна МЭМС-компонентов, о текущей оценке параметров ряда конечных продуктов. Понимание всех этих процессов крайне важно для встраивания фаундри в производственные линейки в рамках импортозамещения в России.

Читайте также
Открылся прием заявок на VII Конкурс для журналистов, С...
22.03.2023
15 февраля открылся прием заявок на VII Конкурс для журналистов, СМИ и авторов социальных медиа «Национальная система квалификаций».
АО «ЗИТЦ» в репортаже телеканала «Россия 1»....
20.03.2018
Президент Российской Федерации В.В. Путин 20 марта провел совещание, посвященное развитию отечественной микроэлектроники. По его мнению, в этой отрасли сложно обеспечить стабильную работу предприятий без поддержки государства, без заказов госкомпаний. Поэтому важно активно развивать механизмы, котор...
АО «ЗИТЦ» принял участие в праздновании Дня Города....
11.09.2018
8 сентября Москва отмечала свой 871-й день рождения, а ее город-спутник Зеленоград праздновал свой 60-летний юбилей. В торжественном шествии трудовых коллективов по Центральному проспекту приняло участие более 3,5 тысяч человек: представители городской администрации во главе с префектом, учре...