Проектирование и изготовление фотошаблонов
Изготовление фотошаблонов осуществляется для производства интегральных схем с проектными нормами до 180 нм на базе специального технологического оборудования, обеспечивающего генерацию изображения топологического рисунка интегральной микросхемы на фотошаблонах по заданной управляющей информации, аттестацию фотошаблонов на соответствие проектным данным и техническим требованиям заказчика.
На сегодняшний день АО «ЗИТЦ» обладает производственной, технологической и научной инфраструктурой, которая позволяет обеспечивать замкнутый цикл производства фотошаблонов для любых дизайн-центров, научных и производственных предприятий.
Проектирование дизайна фотошаблона включает в себя преобразование и компоновку исходных данных Заказчика в соответствии с техническими требованиями, а также добавление служебных, тестовых и других специальных элементов.
В процессе проектирования дизайна фотошаблонов проводится проверка исходной инф...
Изготовление стандартных бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм для проведения литографических процессов методами:
Контактной фотолитографии, масштаб изображения 1:1;
Проекционной фотолитографии, масштаб изображения 10:1, 5:1, 4:1.
Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стек...
В процессе эксплуатации на фотошаблонах могут образоваться привнесенные дефекты, например: повреждение маскирующего покрытия, нарушение целостности пленки пелликла, загрязнения и т.п., что делает фотошаблон непригодным для использования.
В этом случае мы предлагаем ряд дополнительных услуг на фотош...