Изготовление бинарных фотошаблонов
Изготовление стандартных бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм для проведения литографических процессов методами:
- Контактной фотолитографии, масштаб изображения 1:1;
- Проекционной фотолитографии, масштаб изображения 10:1, 5:1, 4:1.
Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стекла или синтетического кварца с хромовым маскирующим покрытием.
Типоразмеры изготавливаемых фотошаблонов:
- 127x127x2,24 мм (5009),
- 152х152х6,35 мм (6025),
- 177,4х177,4х3,1 мм (7012).
На кварцевые фотошаблоны 152х152х6,35 мм возможна установка пелликлов.
Учитывая индивидуальные требования и пожелания Заказчика, мы предлагаем нестандартные решения для получения наилучшего результата в кратчайшие сроки.
| Минимальный размер на фотошаблоне (мкм) | Спецификация | ||
|---|---|---|---|
| Допуск на размер(±мкм) | Совмещение(мкм) | Дефекты(мкм) | |
| 0,6-0,9 | ≥0,08 | ≥0,15 | ≥0,25 |
| 1-2 | ≥0,1 | ≥0,15 | ≥0,25 |
| 2,5-5 | ≥0,15 | ≥0,15 | ≥0,5 |
| >5 | ≥0,35 | ≥0,15 | ≥0,5 |
