ЦКП «Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов»
Основные направления деятельности:
- Проведение анализа с измерением геометрических размеров, определением состава и модификацией микро- и наноструктур, интегральных микросхем на растровом электронно-ионном микроскопе высокого разрешения, в том числе получение поперечных сечений с использованием фокусированного ионного пучка.
- Проведение анализа с измерением геометрических размеров, определением состава микроструктур и нанообъектов, интегральных микросхем методами растровой электронной микроскопии.
- Проведение анализа структуры, измерение геометрических размеров материалов нанообъектов и интегральных микросхем методами просвечивающей электронной микроскопии, включая приготовление образцов с применением фокусированного ионного пучка.
- Проведение комплексного анализа структуры интегральных микросхем.
Методы исследования:
- просвечивающая (ПЭМ), растровая (РЭМ) электронная микроскопия;
- фокусированный ионный пучок;
- оптическая микроскопия.