Дополнительные услуги
В процессе эксплуатации на фотошаблонах могут образоваться привнесенные дефекты, например: повреждение маскирующего покрытия, нарушение целостности пленки пелликла, загрязнения и т.п., что делает фотошаблон непригодным для использования.
В этом случае мы предлагаем ряд дополнительных услуг на фотошаблонах Заказчика, позволяющих избежать дополнительных затрат на изготовление нового комплекта фотошаблонов, а также минимизировать временные потери при производстве интегральных схем, в т. ч:
- Автоматизированный контроль соответствия топологического рисунка фотошаблона проектным данным и поиск дефектов маскирующего покрытия;
- Устранение дефектов маскирующего покрытия фотошаблона (проколы, вырывы, остатки хрома);
- Измерение критических размеров элементов топологического рисунка фотошаблона;
- Отмывка фотошаблона и монтаж пелликла;
- Аттестация координатной системы генераторов изображения.
