Cквозное заполнение отверстий оловом в кремнии.
- В общем случае 3D-интеграция предусматривает формирование на кристалле со сквозными отверстиями через кремний набора "приборных слоев".
- Заполнение сквозных отверстий проводится в окна размером 70х70 и 100х100 мкм, при установке кристалла на подложку.
- Получившиеся столбы позволяют соединить между собой несколько слоев кристаллов с такой же металлизацией и имеют конформальное покрытие.
