Зеленоградский инновационно-технологический центр
Cквозное заполнение отверстий оловом в кремнии.

Cквозное заполнение отверстий оловом в кремнии.

    В общем случае 3D-интеграция предусматривает формирование на кристалле со сквозными отверстиями через кремний набора "приборных слоев".

  • Заполнение сквозных отверстий проводится в окна размером 70х70 и 100х100 мкм, при установке кристалла на подложку.
  • Получившиеся столбы позволяют соединить между собой несколько слоев кристаллов с такой же металлизацией и имеют конформальное покрытие.